论文标题：A High-Resolution Measurement Method for Inner and Outer 3D Surface Profiles of Laser Fusion Targets Using a Laser Differential Confocal–Atomic Force Probe Technique

期刊：Engineering

DOI：https://doi.org/10.1016/j.eng.2024.05.016

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激光聚变靶丸内外三维（3D）轮廓的高分辨、无损、共基准测量难以实现。为解决此类问题，北京理工大学赵维谦研究团队在中国工程院院刊《Engineering》2024年10月刊发《一种基于激光差动共焦–原子力探针技术的激光聚变靶丸内外3D轮廓高分辨测量方法》一文，提出了一种激光差动共焦（LDC）–原子力探针（AFP）方法来实现聚变靶丸内外3D轮廓的高分辨检测。该方法通过LDC方法检测AFP的偏转，利用AFP的高空间分辨率提高外轮廓测量的空间分辨率。利用LDC方法的层析成像特性，实现靶丸内表面轮廓的无损、共基准检测。此外，结合水平回转轴对靶丸的多次转位，获得了靶丸的内外表面3D轮廓和全球面功率谱。实验结果表明，外轮廓测量的轴向和横向分辨率分别为0.5 nm和1.3 nm，内轮廓测量的轴向和横向分辨率分别为2.0 nm和大约400 nm。靶丸外轮廓和内轮廓均方根偏差的测量重复性分别为2.6 nm和2.4 nm。值得注意的是，文章为聚变靶丸内外3D轮廓的高分辨、无损、共基准检测提供了一种可行的方法。

关键词：

激光聚变靶丸 ; 激光差动共焦（LDC）–原子力探针（AFP） ; 高分辨 ; 无损 ; 共基准

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https://doi.org/10.1016/j.eng.2024.05.016