作者:晋楠 来源:中国科学报 发布时间:2023/1/3 16:37:32
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用飞秒激光实现玻璃无裂痕钻孔

 

飞秒激光在脉冲模式下对玻璃进行自上而下的冲击钻孔。图片来源:Pierre balage, John lopez

法国波尔多大学强激光与应用研究所(CELIA)的激光-物质相互作用研究小组在GHz脉冲模式下使用飞秒激光探索了一种新的玻璃微钻孔方法。相关研究近日发表于《极限制造国际期刊》。

研究团队利用GHz脉冲状态下的飞秒激光,设计了一种新的玻璃微加工方法,该方法可以钻取无锥形、细长的孔,其内壁光滑,玻璃中没有任何裂缝。通常,用标准单飞秒脉冲激光打孔会得到长度有限且内表面粗糙的锥形孔。

这种新的激光-物质相互作用机制允许直接在一个步骤中钻出高纵横比的孔,而无需任何化学蚀刻。激光脉冲参数的选择对于获得良好的微细加工质量是非常重要的。飞秒激光ghz爆发模式可能为微电子学等新应用铺平道路,在微电子学中,硅中间体很可能被玻璃中间体取代。

相关论文信息:

10.1088/2631-7990/acaa14

 
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