作者:王友年等 来源:PRL 发布时间:2011-8-19 15:55:03
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研究证实电子反弹共振加热现象存在
 
 近日,大连理工大学教授王友年研究课题组在双频容性耦合等离子体放电装置上,分别利用双悬浮静电探针和移动发射光谱探针进行测量,观察到电子反弹共振加热现象的存在,并模拟方辅证。相关研究论文发表在《物理评论快报》(Physical Review Letters)上。
 
在国家自然科学基金重点项目资助下,研究人员在固定其他放电参数情况下,通过调节放电间隙,发现等离子体密度及发射光谱随间隙变化存在一个明显的共振峰。此外,还发现在双频放电条件下,电子反弹共振行为可以在较大的放电间隙下发生,这一点与单频放电情况下的行为有明显的不同。
 
该研究结果不仅有助于人们进一步加深对低气压射频放电条件下等离子体加热机制的理解,同时对优化半导体芯片刻蚀工艺中的放电参数的选择也具有重要的实际意义。(来源:科学时报 柯伟)
 
 
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